本研究では，超硬質膜の一つである立方晶窒化ホウ素（c-BN）膜の実用化を目的としている．c-BN膜はダイヤモンドに次ぐ高硬度を有し，摩擦環境下では優れた耐摩耗性を示すことが期待されている．また，化学的安定性にも優れていることから，ダイヤモンドでは，切削できない鉄系材料の切削にも適用できると考えられており，優れたトライボロジー特性を有する材料としても期待されている．当研究室では，このc-BN膜に残留する内部応力が高いことから，膜を厚くできないという問題がある．