極表面層の力学的特性に関する研究

　

　極表面層の力学的特性の評価するために走査型プローブ顕微鏡を用いて，マイクロ摩耗試験，吸着力測定試験行った．マイクロ摩耗試験では，HOPGの荷重依存性，B-C-N三元素系積層膜，混合膜の摩耗回数依存性の実験を行い，その摩耗特性を評価，検討し，考察した．

　吸着力測定試験では，DLC膜を形成した磁気ヘッド，ダイヤモンド膜をフッ化炭素ビーム照射処理により表面改質した試料の吸着力を測定し，未処理との比較，処理条件による比較を行い，吸着力を評価，検討した．また，湿度が吸着力にどのような影響を与えるか，考察するため，高湿度，低湿度環境下で測定した．