薄膜トライボロジーの研究
日下部 満 (954215)
最近,各種装置の高性能化や軽量化が進展するにつれ,その装置を構成する各種部材表面の微小量な摩耗や摩擦力の変動が問題となっている.このようにトライボロジーは主要な検討分野であり,このトライボロジー特性を改善するための表面改質技術が要求されている.本研究では,このような要求に対応するため施される高機能コーティングのトライボロジー特性(実用的荷重領域である0.1〜5Nにおける特性)を評価している.