最近、電気通信・情報など各種電子応用機器において、装置の高性能化や軽量化が進展するにつれ、微小量の摩耗・微小な摩擦力変動が問題になり、マイクロトライボロジー(極表面層における摩擦、摩耗)の重要性が増大している。これらの特性改善の手段として、高機能薄膜形成技術が挙げられる。