磁気ディスク装置など情報機器の信頼性を確保するために、極表層の表面改質技術が必要となっている。その方法として表面をべつの物質で被覆する方法と表面そのものを改善する方法がある。表面を被覆する方法として摩擦特性に優れた対摩耗性薄膜の適用が期待される。この対摩耗性薄膜としてカーボン系薄膜や、ｃ−ＢＮ膜といった超硬質膜が注目を集めている。また最近では、ダイヤモンドより高い容積弾性率を有するβ−Ｃ３Ｎ４の形成を目指して、窒化炭素についても盛んに研究が行われている。