クリーン環境のトライボロジー研究

　

　半導体製造装置，医療，情報，宇宙機器などの各分野においてはクリーンルーム，真空，活性及び不活性ガスなどのクリーン環境下で使用する機構は，駆動機構から作業空間への汚染放出を厳密に制御する必要があり，これらに使用する潤滑部品の重要性が増大している．私たちクリーン環境のトライボロジー班では，日本工業大学独自の摩擦試験装置を用いて，転がり・滑り部分からの発塵の基本特性，三次元表面粗さ測定器を用いて，摩擦試験後の摩耗量を求め，微細な発塵．摩耗の関係について研究しクリーン環境への適用性を検討している．