スパッタリング (Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ) とは 低圧気体中の金属が加熱または イオン衝撃するとき、蒸発または 衝突によって金属面から原子が 気体中に飛散して付近の物体面 に付着する現象。 ガラスなどの物体面に金属薄膜を つけるのに利用される。