▼超真空アニ−ルチャンバ（Ultra High Vacuum-Annealing Chamber） RIBER/Special Type 特徴 超真空アニールチャンバではサンプルを超真空以下（1.0×10-10Torr）でアニール処理することができます．タイムシーケンスは任意で設定することができ，同時にアニール処理中に脱離する元素を四重極質量分析計（Quadruple Mass Spectrometer: QMS）を用いて測定することもできます． アニール処理によって変化したサンプルの様子を，結合状態であればX線光電子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy: XPS）で，表面状態であれば電子間力顕微鏡（Atomic Force Microscopy: AFM）で評価することができます．また，アニール処理を施したサンプルは各装置に導入する際，大気に触れることなく移動することができます．