| ▼超高真空走査型プローブ顕微鏡装置（Ultra High Vacuum−Scanning Probe Microscopy：UHV ? SPM） UNISOKU / USM904S | ||
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| 原理 SPMとは走査型トンネル顕微鏡（Scanning Tunneling Microscopy：STM），原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscopy：AFM）などのプローブを使った顕微鏡の総称です． STMとは先端を鋭く尖らせた金属探針を導電性の高い固体表面に1nm程度まで近づけ数ボルトの電圧を印加すると，両者の間にトンネル電流が流れ，この電流を一定に保つことにより，両者間の距離を一定に保ちながら試料表面を走査し，画像化する装置です．一方，AFMとは金属探針と試料を接近させると，2つの物体間には原子間力が働きます．その力を金属探針で検出し，画像化させる装置です．
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