▼X線光電子分光装置（X-ray Photoelectron Spectroscopy：XPS） ULVAC PHI/1600S 原理 真空中で固体表面にX線を照射すると，そのエネルギーにより電子が飛び出します．その電子が持っている固有のエネルギーを測定することで固体表面に存在する元素を調べることができます．また，表面をエッチングすることにより深さ方向の分析も可能です． ＳｕｒｖｅｙによるCuの測定結果 特長 ・ 表面から数nmの元素分析 ・ H,Heを除く元素を分析 ・ 試料の電気導電性にかかわらず測定ができる ・ ケミカルシフトを用いて元素の化学状態を検討できる ・ 元素の深さ分布が測定できる