分子線エピタキシー (Molecular Beam Epitaxy:略してMBEと呼ぶことが多い)MBEとは 真空蒸着法の一種で、超高真空中で、結晶の個々の構成元素をそれぞれ 別々の蒸発るつぼに入れて、るつぼを加熱して蒸発させる。 出てくる蒸気を分子線の形で、加熱されている基盤に当てて、 その基盤上に単結晶簿膜を成長させる方法である。